M7163磨床的超精密加工工艺方法要与被加工材料相匹配。M7163磨床材料（如铜、铝合金）宜用单点金刚石刀具进行车削或铣削加工；磨床M7163材料（如钢等）则宜选磨削与研、抛等工艺，否则M7163磨床得不到预期的加工效果等。M7163磨床生产商的加工环境要严格恒温、隔振和净化。M7163磨床恒温室（第一分隔区）中的温度波动不得大于±0.1°C；M7163磨床加工区（第二分隔区）中则不应超过±0.01°C；M7163磨床环境的相对湿度要保持在40%±10%以内；大气压力（如用激光测量仪时）应保持1MPa±0.1%；M7163磨床地基的隔振系统固有频率<2Hz；M7163磨床加工区的净化度应为每立方英尺中大于0.1µm的微粒含量应不多于10颗。因此M7163磨床生产商与磨床微粒含量有关。 具有能实现纳米级（1nm ~10nm）增量进给的M7163磨床和分辨力优于0.1nm的测量设备，如M7163磨床激光干涉仪，扫描隧道显微镜和原子力显微镜等。 超精密加工的工艺方法。M7163磨床生产商根据被加工件的材料和形面的不同，常用的超精密加工工艺方法主要分三大类：切削加工法、磨削加工（含研、抛）法和电物理加工法。所以M7163磨床生产商与磨床切削加工法有关。